OVERVIEW
服務概述
SEMI 標準於 1985 年由美國提出後,全球製造商普遍被要求在設備出廠前備妥 SEMI 安全評估報告。本專區整理供應鏈常引用的標準清單與查核重點。
半導體供應鏈的設備安全要求,通常不是單一標準,而是一份由終端客戶指定的標準清單。這個專區整理常見的引用範圍與查核重點,供設備商在接單初期比對自家產品的落差。

APPLICABLE STANDARDS
適用標準與法規
以下為此服務常引用的標準與法規。實際適用範圍需依產品結構、 使用場域與目標市場逐案判定。
| 標準/法規 | 名稱 | 適用重點 |
|---|---|---|
| SEMI S1 | 警告標示設計 | 安全標示 |
| SEMI S2 | 設備安全設計 | 環境健康安全主標準 |
| SEMI S3 | 液體加熱安全設計 | 加熱系統 |
| SEMI S6 | 通風排氣設計 | 含危害性化學品洩漏測試 |
| SEMI S8 | 人因工程設計 | 人體工學 |
| SEMI S10 | 風險評估分析 | 風險等級判定 |
| SEMI S13 | 安全手冊暨文件 | 操作與維護文件 |
| SEMI S14 | 化學品危害風險分析 | 火災風險 |
| SEMI S17 | 無人搬運設備安全設計 | AGV/OHT |
| SEMI S22 | 電氣設計與電氣測試 | 電氣安全 |
| SEMI S26 | FPD 設備安全設計 | 平面顯示器設備 |
| SEMI S28 | 機械手臂與 load/unload 安全設計 | 自動搬運介面 |
| SEMI F47 | 壓降測試 | 電壓驟降耐受 |
| NFPA 79 | 電氣設計 | 工業機械電氣標準 |
DELIVERABLES
專案交付內容
實際交付項目依專案範圍調整,以下為此類服務常見的產出。
01
標準清單比對
把客戶指定的標準逐一對應到設備的實際設計。
02
現場評估查核表
依標準條目建立可在產線上使用的查核表。
03
重大風險清單
火災防護、電氣設計、機械手臂、安全連鎖、EMO、化學品安全。
04
風險分析報告
危害辨識、風險等級與降低措施的完整紀錄。
FAQ
Intel 半導體設備 SEMI 認證專區常見問題
客戶給的標準清單很長,要全部做嗎?
先做適用性判定。清單通常涵蓋該客戶所有設備類型,其中不少條目對特定設備不適用(例如沒有機械手臂就不需要 S28)。把「不適用」的理由寫清楚,和「符合」一樣重要。
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